气体质量流量计及控制器注意事项
一 、注意事项
1、加装过滤器
使用气体必须净化,切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器,如果流量计出口接有液体源瓶,应在流量计出口加装单向阀,防止液体回流损坏流量计。
2、使用腐蚀性气体
流量计通道采用的材料为:SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1(00Cr30Mo2), 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清晰、使用得当的条件下,可以用于控制一般的腐蚀性其他使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时,应在定货时声明。 使用特殊腐蚀性气体,所有密封材料都要作相应改变。
3、 安装位置问题
本控制器安装时最好保持安装面水平,但对位置并不特别敏感, 可以任意位置安装,非水平位置安装时若发现零点偏移,可以调整零点后在工作。
4、阀口密封问题
质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。特别是用户使用腐蚀性气体,通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀,以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在2%F.S以内, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%, 则应进行维修。
5、标定与不同气体的换算
本流量质量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定,需要在订货时与销售人员特别申明。用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时,可以通过附录的转换系数进行换算。
二、一般异常情况判断和处理
现象 | 可能原因 | 处理方法 |
| 气源未开, 气路不通 | 接通气源, 开通气路 |
| 没有设定目标流量 | 参照操作详解3.4 |
开机后无气流流过 | 过滤器堵塞 | 更换过滤器 |
调节阀故障 | 检查阀线圈是否断, *清洗调节阀 |
| 电路故障 | 维修电路 |
| 零点偏差 | 参照操作详解3.4 |
| 传感器故障 | 更换传感器 |
流量控制不稳定 | 电路故障 | 维修电路 |
阀门污染 | 清洗阀门,更换密封件 |
| 气源压强太低或不稳 | 提高气源气压,稳定气源压强 |
在阀门关闭的情况 | 调节阀故障 | 重新调整调节阀 |
下,仍有较大的流量 | 入口气压过高 | 降低入口气压 |
流过 | 通道堵塞 | 清洗MFC通道 |
流量显示不能达到满量程值 | 设定目标流量低于满量程 | 检查设定值 |
其它电路故障 | 维修电路 |
不通气时零点不稳, | 电路故障 | 维修电路 |
传感器故障 | 更换传感器 |