小量程气体质量流量计（模拟型）-午腾测控仪表（上海）有限公司

小量程气体质量流量计（模拟型）

工作原理：

一、用途与特点

质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

二、工作原理

CF系列气体质量流量控制器卓越的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内。

产品详情介绍

? 主要技术指标

技术指标	小量程气体质量流量计（模拟型）		小量程气体质量控制器（模拟型）
量程范围	0~10SCCM	0~30SLM	0~10SCCM	0~30SLM
量程比	100：1		50：1
精度	±1.0%F.S
线性	±0.5~1.5%F.S
重复精度	±0.2%F.S
响应时间	＜1.5S		＜2S
模拟量输出	0-5V 或4-20mA
数字量输出	RS232/485 MODBUS协议
供电	±15VDC 或24VDC
工作压力	工作压降＜0.01Mpa		工作压差：0.01~0.5MPa
耐压	3MPa 可定制10MPa
漏率	1×10^-8SCCSHe
工作温度	0~50℃
底座材质	316L不锈钢
密封材质	氟橡胶、丁晴橡胶、氯丁橡胶、聚四氟乙烯
接头	可选配卡套、快插、宝塔接头