? 主要技术指标
技术指标 | 小量程液体质量控制器（数显型） |
量程范围 | 0~10SCCM | 0~100SCCM | 0~500SCCM | 0~1000SCCM |
量程比 | 50：1 |
精度 | ±1.0%F.S |
线性 | ±0.2~0.3%F.S |
重复精度 | ±0.2%F.S |
响应时间 | ＜1.5S | ＜2S |
模拟量输出 | 0-5V 或4-20mA |
数字量输出 | RS232/485 MODBUS协议 |
供电 | ±15VDC 或24VDC |
工作压力 | 工作压差：0.1~0.5MPa |
耐压 | 2.0MPa |
漏率 | 1×10-8SCCSHe |
工作温度 | 0~50℃ |
底座材质 | 316L不锈钢 |
密封材质 | 氟橡胶、丁晴橡胶、氯丁橡胶、聚四氟乙烯 |
接头 | 可选配卡套、快插、宝塔接头 |
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注意：
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(H2O)标定.
质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)
标准状态规定为： 温度-----273.15K (0℃);
气压-----101325 Pa （760mm Hg）
F.S (Full Scale); 满量程值
? 外型尺寸
